研究室概要

小さなロボットは様々な分野での応用が期待されています．配管や天井裏など人が入れない狭い場所の点検や修理，災害現場では人を探す機能だけを持った小さくて安いロボットの大量投入，惑星探査における広範囲の環境調査など，複雑・過酷な環境で多数のロボットが協調して一つのタスクを遂行します．小さな世界に適合している昆虫をお手本に，MEMS（マイクロマシン技術）とメカトロニクス技術を融合させてマイクロロボットの実現を目指しています．

研究設備（研究室・大学共用設備）

• シリコン深掘り装置（D-RIE: Deep Reactive Ion Etching）
• 成膜装置（RFスパッタ，EB蒸着，熱線真空蒸着）
• マスクレス露光装置
• 電子顕微鏡，レーザー顕微鏡
• レーザードップラ振動計，共焦点型レーザー変位計
• 精密リソグラフィ装置群（マスクアライナー，スピンコーター，恒温器，電気炉等）
• エッチング用スクラバ・除外装置付き酸・アルカリドラフト
• ３Dプリンター，レーザーカッター，卓上型NCマシニングセンタ

研究室生活

私たちの研究室では，組込マイコン制御や電子回路，機構設計などのメカトロニクス開発環境やMEMSデバイス研究のためのフォトリソグラフィー環境などを自由に使って研究を進めることができます．昆虫をお手本にしたマイクロロボットは，神経工学・神経行動学などの生物学分野との学際的研究領域で，工学だけではない広い視点で研究テーマに取り組めます．常に本質は何かを考え，積極的に課題に取り組めるエンジニアを目指して，私たちの研究室で一緒にがんばりましょう．